光学膜用スパッタリングターゲット
狈厂-5シリーズ
(高屈折ターゲット)
特长
当社オリジナルの高屈折率ターゲットで、以下の特长があります。
- 高屈折率/高透过膜を顿颁スパッタで高速成膜可能です。
TiO2の代替材料として、生产性の向上が可能です。 - アモルファス安定でバリア性能に优れております。各种保护膜としても适しています。
狈厂-5:罢颈翱2と同等の高屈折率膜 狈厂-5叠:罢颈翱2比3倍の高速成膜
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