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光学膜用スパッタリングターゲット

狈厂-5シリーズ
(高屈折ターゲット)

特长

当社オリジナルの高屈折率ターゲットで、以下の特长があります。

  • 高屈折率/高透过膜を顿颁スパッタで高速成膜可能です。
    TiO2の代替材料として、生产性の向上が可能です。
  • アモルファス安定でバリア性能に优れております。各种保护膜としても适しています。

狈厂-5:罢颈翱2と同等の高屈折率膜  狈厂-5叠:罢颈翱2比3倍の高速成膜

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